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半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,推力測試治具及芯片裝片推力測試方法

發(fā)布時間:2023-04-19         文章來源:

行業(yè)流傳說法,推力測試設(shè)備好不好,還要看治具!這最考驗(yàn)技術(shù)工程師水平了。半導(dǎo)體領(lǐng)域,以前,無法將載板直接置于測試推力的機(jī)器上。通常是將芯片裝載到和載板等厚度的小鋼片上,將小鋼片置于測試推力的機(jī)器上進(jìn)行測試。

由于小鋼片需要手動裝載,在裝片頭上的位置沒法固定,因此在將芯片打到小鋼片上的整個流程都是手動操作(裝片臺Y向移動、裝片頭X向和Z向移動均為手動移動),具體的工藝流程如圖1中所示,通過手動操作將芯片打到小鋼片上的整個工藝流程,操作不方便,嚴(yán)重的影響了工作效率。
推力測試治具.png

并且,由于手動將芯片放置在裝片頭上,會出現(xiàn)芯片偏移的現(xiàn)彖,即芯片的幾何中心和裝片頭的幾何中心不在一條直線上,使得每次裝片給芯片的裝片力有較人的偏差,在做推力測試時影響我們最終的推力值,影響推力測試的準(zhǔn)確性。


推拉力測試機(jī)方法:

1.將推力測試治具放入芯片裝片機(jī)進(jìn)行自動定位及裝片,芯片裝片機(jī)在子板上進(jìn)行裝片;

2.芯片裝片機(jī)完成裝片后,將子板從母板上取下;

3.將取下的子板放入推拉力測試機(jī)構(gòu)進(jìn)行芯片裝片推力測試。
芯片推力測試.png

另外,在將推力測試治具放入芯片裝片機(jī)進(jìn)行裝片之前,還包括:在母板的上表面和子板的上表面上形成粘接層。

推力測試治具及芯片裝片推力測試方法,通過設(shè)置推力測試治具的具體結(jié)構(gòu),從而實(shí)現(xiàn)了機(jī)器自動化裝片至待測試的子板上,保證了芯片裝片的準(zhǔn)確性,以及推力測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性;并且,提升了工作效率,節(jié)約了工作時間。

在作業(yè)時,直接將推力測試治具放入芯片裝片機(jī)中,選用正常的裝片程序即可自動完成裝片工序。這樣,完全通過芯片裝片機(jī)自動完成移動以及裝片工作,而避免了芯片在運(yùn)載過程中手動操作帶來的干擾,從而不會出現(xiàn)受力不均勻的情況。

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